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氦气质谱检漏的用方法

氦质谱检漏-背压法，背压法的检漏首要应用于各种电子元器件产品检漏。该办法检测灵敏度高，能完成小型密封容器产品的走漏检测，能够进行批量化检测。可是不能进行大型密封容器的漏，否则由于密封腔体容积太大，导致加压时刻太长。特种气体系统的设计与施工供气系统的选择常规供气系统常规供气系统主要应用于4-6英寸大规模集成电路厂，50MW以下的太阳能电池生产线，发光二极管的芯片工序线以及其它用气量中等规模的电子行业。此外，每个丈量漏率都对应两个等效规范漏率，在细检完成后还需求选用其它办法进行粗检，扫除大漏的或许。

特种气体：氦气

液氦的沸点极低（4.25K），使其成为高科技领域的宠儿：一是低温超导。液氦温度极低，可为超导磁体提供低温环境，其中应用广的为磁共振成像（MRI）。医1院核磁共1振成像仪的核心大都是超导磁体，只有在液氦的低温下才能稳定运行，产生稳定的磁场，保证高分辨率成像。它们的制程简单，通常不需要连续性供气，对气体供应系统的投资预算低。二是低温冷却。

液氦广泛用于原子反应堆的冷却介质和清洗剂。三是测温。由于氦气的液化温度很低，接近于绝1对零度，故其测温范围很广，多用于精密测量。

特种气体系统工程施工的一般性要求

特种气体系统使用的不锈钢管应采用全自动轨道焊机焊接，高纯氩气保护。安装和试验检测用计量器具应检定合格并在有效期内使用。特种气体系统工程施工前必须编制专项施工方案，并经过业主审批后实施。主要设备材料进场应提供必要资料：产品合格证、质量保证书、性能测试报告；产品安装、使用、维护和试验要求等技术文件；产品规格、型号、数量、设备附件及专用工具。制定完善的经验证可行的灭菌工艺方案以及环氧乙1烷存放、收发制度，专人持证上岗，严格按照操作规程运行2。